Описание
Программа профессионального обучения «Фотограф прецизионной фотолитографии»
Цель программы
Подготовить квалифицированных специалистов, способных выполнять фототехнические операции в процессе прецизионной фотолитографии для производства микроэлектронных компонентов и других высокоточных изделий. Выпускники получат компетенции для работы на предприятиях микроэлектроники, приборостроения и смежных отраслей.
Задачи программы
1. Освоить теоретические основы фотолитографического процесса и его роль в микроэлектронике.
2. Изучить устройство, принципы работы и правила эксплуатации оборудования для прецизионной фотолитографии.
3. Овладеть техниками подготовки фотошаблонов, нанесения фоторезистов и проведения экспонирования.
4. Научиться контролировать качество фотолитографических операций и выявлять дефекты.
5. Освоить требования промышленной безопасности и охраны труда при работе с фотохимическими материалами.
6. Сформировать навыки документирования технологических процессов и ведения рабочей отчетности.
Знания, которые получит слушатель
— Физико-химические основы фотолитографии: свойства фоторезистов, механизмы экспонирования и проявления.
— Конструкция и принцип работы установок для нанесения фоторезистов, экспонирования и проявления.
— Типы фотошаблонов, методы их изготовления и контроля качества.
— Технологические режимы фотолитографии (время, температура, интенсивность излучения).
— Методы контроля качества фотолитографических операций (микроскопия, оптические измерения).
— Нормы расхода фотохимических материалов и правила их хранения.
— Требования охраны труда, пожарной безопасности и экологической безопасности при работе с фотохимическими реагентами.
— Документация технологического процесса: маршрутные карты, журналы контроля, отчеты о браке.
